专利
专利名称: 阳极场辅磁控溅射镀膜装置
专利类别: 实用新型
第一发明人: 张斌
其他发明人: 张俊彦、高凯雄、强力、王健
申 请 号:
专 利 号: 201520836093.1
申请日期: 2015-10-27
专利授权日期: 2016-04-13
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号: 5122603
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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