中国科学院兰州化学物理研究所

专利

专利名称：	具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置
专利类别：	实用新型
第一发明人：	张斌
其他发明人：	张俊彦；高凯雄；强力；王健
申请号：
专利号：	201520840239.X
申请日期：	2015-10-27
专利授权日期：	2016-04-13
国外申请方式：
国外申请日期：
国外授权日期：
专利证书号：	5123786
专利摘要：
实施情况：
其他备注：

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